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中國日本德國SEM和EDS電子掃描鏡SU5000/7000
| 產(chǎn)品型號(hào)： |
SU5000/7000 |
| 品 牌： |
中國日本德國 |
|
|
| 所 在 地： |
廣東深圳寶安區(qū) |
| 更新日期： |
2024-08-07 |
日立SU5000/7000高智能多開放式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡方案
服務(wù)電話
*部分：配置（P2）
第二部分：技術(shù)參數(shù)(P3)
*部分：配置報(bào)價(jià)
| 序號(hào) |
貨號(hào) |
設(shè)備名稱 |
數(shù)量 |
備注 |
| 1 |
主機(jī) |
Model SU5000 SEM
SU5000 型場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡主機(jī)
Lower Secondary Electron Detector
低位二次電子探測(cè)器
100x50mm 5-axis motorized stag
100x50 五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)
Objective movable aperture holder: 4 holes with click-stop design(20, 30, 70, 150 µm dia.)
4孔物鏡活動(dòng)光闌桿（孔徑20, 30, 70, 150 µm），附帶自清潔裝置
Rotary pump
機(jī)械泵
Turbo Molecular Pump(TMP) 250 L/s，x1
分子泵，250 L/s x1
Ion pump: 30 L/s 20 L/s
離子泵：30 L/s 20 L/s
Control System,including PC,Keyboard,Mouse,Rotary Knob
控制單元，包括電腦、鍵盤、鼠標(biāo)、多功能旋鈕板
EM Wizard
電鏡助手功能（高自動(dòng)化）
Connector for DBC
能譜接口（外掃描控制器）
Auto Standard sample correction
自動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)樣品校正 |
1套 |
原裝進(jìn)口 |
| 2 |
510-9808 |
SDM with CD-Measurement Function for SU5000 14S
高精度測(cè)量軟件（離線版，允許10臺(tái)電腦使用） |
1套 |
原裝進(jìn)口 |
| 3 |
511-5739 |
Auto-Transformer for SU5000 15K
變壓器, 7kVA |
1個(gè) |
原裝進(jìn)口 |
| 4 |
耗材 |
耗材（光闌、導(dǎo)電膠帶、泵油等） |
1套 |
原裝進(jìn)口 |
| 5 |
|
空壓機(jī) |
1套 |
原裝進(jìn)口 |
| 6 |
國內(nèi)采購 |
顯示器 |
1套 |
- |
| 報(bào)價(jià)：美金 |
第二部分：技術(shù)參數(shù)
- 高自動(dòng)化場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡技術(shù)參數(shù)
1. 運(yùn)行環(huán)境：
1.1 房間溫度：15 ~ 25℃
1.2 相對(duì)濕度：小于60%
1.3 適用電源：?jiǎn)蜗啵?20V±10%，50/60Hz，4kVA，要求連續(xù)供電
1.4 地線：接地電阻不小于40Ω
2.技術(shù)參數(shù)
2.1 組成：主機(jī)(包括真空系統(tǒng)、電子光學(xué)系統(tǒng)、檢測(cè)器系統(tǒng))，自動(dòng)變壓器，計(jì)算機(jī)，標(biāo)準(zhǔn)工具及附件。
2.2 電子槍：肖特基熱場(chǎng)發(fā)射電子槍，引出電壓, 2.5kV – 4kV （*小步進(jìn)10V）
2.3 分辨率
2.3.1 SE分辨率 30kV：1.2nm
1kV:3.0nm
1kV:2.0nm（減速I）
1kV：1.6nm（減速II）
2.4 加速電壓：0.5 ~ 30kV （減速下*低電壓0.1kV）
★2.5束流：高、低真空下均大于200nA（高、低真空模式下同時(shí)滿足，有利于檢測(cè)能力）
★2.6放大倍率
底片倍率：10–600,000x；顯示器倍率：30–1,500,000x （1280x960像素）；
可同時(shí)顯示以顯示器為準(zhǔn)和以底片為準(zhǔn)的兩種模式的放大倍率
★2.7 物鏡光闌：4孔可調(diào)式，光闌孔徑（150/70/30/20um），內(nèi)置標(biāo)配加熱自清潔裝置（以便于增加光闌使用壽命），含位置感應(yīng)器
2.8 掃描線圈：兩級(jí)電磁透鏡偏轉(zhuǎn)
★2.9透鏡系統(tǒng)：3級(jí)電磁透鏡系統(tǒng)
2.10像散矯正單元：八極電磁消像散
★2.11抽屜式大開倉結(jié)構(gòu)，樣品臺(tái)安裝在倉門上。
★2.12樣品臺(tái)驅(qū)動(dòng)：5軸優(yōu)中心馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)。
X：±100mm；Y：±50mm；Z：3-65mm；★ T: -20 to 90 deg；R: 360deg
2.13 樣品大�。�≥200mm（直徑），≥80mm（高度）
2.14 探測(cè)器：配備獨(dú)立的二次電子探測(cè)器
2.15 圖像導(dǎo)航：自動(dòng)圖像導(dǎo)航，且擁有三維圖像導(dǎo)航功能
2.16 真空系統(tǒng)：
真空度：10-7Pa (電子槍)；7×10-4Pa (樣品室)
分子泵（磁懸浮型）250L/s×1；
機(jī)械泵133L/min×1臺(tái)；
離子泵30L/s×1,20L/s×1臺(tái)
保護(hù)：斷電、漏電、真空保護(hù)
★2.17 儀器標(biāo)配特殊材質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)樣品，具有自動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)樣品校準(zhǔn)功能。無需工程師維護(hù)，便于提高電鏡實(shí)時(shí)精度。
★2.18配備高自動(dòng)化輔助操作軟件高級(jí)功能：：標(biāo)準(zhǔn)模式和高級(jí)模式，觀察助手模式，像散調(diào)節(jié)訓(xùn)練模式，操作向?qū)�，�?yīng)用助理，傾斜輔助，樣品臺(tái)記憶和移動(dòng)，圖片導(dǎo)航，操作條件文件保存，放大倍率預(yù)設(shè)，視頻輸出。（提高便捷自動(dòng)化使用功能）
2.19 掃描模式： 至少包含Rapid scan、Fast Scan、Slow scan、Reduce scan、CS scan、spot mode
2.20 圖像儲(chǔ)存：BMP、TIFF、JPEG，640×480，1280×960，2560×1920，5120×3480像素
2.21 捕捉的圖片可存儲(chǔ)在臨時(shí)圖片欄內(nèi)，可選擇單張存儲(chǔ)或批量存儲(chǔ)，可自動(dòng)連續(xù)命名
2.22 數(shù)據(jù)記錄：放大倍率，加速電壓，工作距離，日期，時(shí)間，編號(hào)，信號(hào)類型
2.23 捕捉的圖片可存儲(chǔ)在臨時(shí)圖片欄內(nèi)，可選擇單張存儲(chǔ)或批量存儲(chǔ)，可自動(dòng)連續(xù)命名
2.24 自動(dòng)功能：自動(dòng)校準(zhǔn)，自動(dòng)亮度對(duì)比度，自動(dòng)對(duì)焦，自動(dòng)消像散和對(duì)焦控制，自動(dòng)開啟，自動(dòng)電子束偏移
★2.25 擴(kuò)展接口：至少為12個(gè)，以便于后期擴(kuò)展功能
★2.26 用戶可自行完成紅烘烤維護(hù)和鏡筒合軸維護(hù)
